제품개요
고순도-질소는 미량의 불순물이라도 제품 무결성, 공정 안정성 또는 분석 정확도를 손상시킬 수 있는 산업에 필수적인 불활성, 비반응성 가스입니다. 첨단 공기 분리 및 정화 기술을 통해 얻은 이 가스는 산소, 수분, 탄화수소 및 기타 오염 물질의 수준이 매우 낮은 것이 특징입니다. 궁극적인 보호 및 퍼지 매체인 고순도 질소는 민감한 환경에서 산화, 오염 및 원치 않는 화학 반응을 방지하는 데 필수적입니다. 고순도 질소의 안정적인 공급은 전자, 제약, 첨단 소재 분야의 제조 우수성을 위한 초석입니다.
기본정보
| CAS 번호 | 7727-37-9 |
| 유엔 번호 | UN1066(질소, 압축) 또는 UN1977(질소, 냉장 액체) |
| 분자식 | N₂ |
| 위험 분류 | 2.2(비-인화성, 비{2}}독성 가스) – 주로 밀폐된 공간에서 질식합니다. |
주요 속성 및 매개변수
| 청정 | 표준화된 등급으로 제공 |
| 중요 불순물 사양(99.999% 등급의 경우) |
산소(O₂): < 3ppmv 수분(H2O): < 3ppmv(종종<1 ppmv for advanced applications) 총 탄화수소(THC): < 0.5ppmv(CH₄) 이산화탄소(CO2): < 1ppmv 미립자: 0.01μm 이상으로 필터링됩니다. |
| 물리적 상태 | 무색, 무취, 무미의 가스; 대량 효율성을 위해 압축 가스 또는 극저온 액체로 공급됩니다. |
| 이슬점 | -76도 이하에 도달할 수 있으며 이는 극도의 건조함을 나타냅니다. |
특징 및 장점
초-불활성 및 건조한 대기
민감한 재료를 산화, 가수분해 및 분해로부터 보호하는 데 중요한 산소와 습기가 거의 없는 환경을 제공합니다.
우수한 오염 제어
극도로 낮은 수준의 탄화수소와 입자는 첨단 기술 제조 과정에서 표면 오염, 필름 결함 및 촉매 중독을 방지합니다.-
일관된 프로세스 성능
보장된 순도는 반도체 도핑, 열처리, 제약 포장과 같은 중요한 공정에서 반복 가능한 결과를 보장하여 수율과 품질을 향상시킵니다.
다재다능하고 안전함
불연성,-비반응성 가스인 이 가스는 인화성 화학물질을 덮는 것부터 파이프라인과 반응기를 퍼지하는 것까지 광범위한 응용 분야에 안전합니다.
기능적 특성
고순도 질소의 주요 기능은 통제된 불활성 대기를 생성하고 유지하는 것입니다. 이는 탱크와 포장재의 상부 공간에서 산소와 습기를 제거하는 담요 가스 역할을 합니다. 퍼징 가스로서 작동 전이나 제품 전환 사이에 공정 장비와 파이프라인에서 공기와 오염 물질을 배출합니다. 분석 응용 분야에서는 운반체 또는 제로 가스 역할을 합니다. 그 불활성은 질소 원자 사이의 강한 삼중 결합에서 비롯되어 대부분의 조건에서 반응하지 않습니다. 중요한 응용 분야의 경우, 도구에 필요한 최종 순도 수준을 달성하기 위해 사용 시점-정화기를 사용하는 경우가 많습니다.
주요 응용 분야
반도체 및 전자제품 제조
퍼징, 블랭킷, 스퍼터링을 위한 웨이퍼 제조 및 운반 가스로 사용됩니다. 화학 기상 증착(CVD), 에칭, 어닐링과 같은 공정에 중요합니다.
제약 및 생명공학
산소에 민감한 제품 덮기-, 반응기 및 충전 라인 퍼지, 용매 회수를 위한 불활성화, 유통기한 연장을 위한 포장-(수정된 대기압 포장 - MAP).
금속 및 열처리
고가 금속의 스케일링 및 탈탄을 방지하기 위해 어닐링, 소결 및 브레이징을 위한 불활성 분위기를 제공합니다.{0}}
분석 및 실험실
가스 크로마토그래피(GC)의 운반 가스, 분광학의 퍼지 가스 및 기기 교정용으로 사용됩니다.
음식 및 음료
산화 및 부패를 방지하기 위해 포장(예: 커피, 스낵)에 질소를 플러싱합니다.
레이저 절단
깨끗하고 산화물이 없는 -가장자리를 얻기 위해 알루미늄과 같은 비철금속을 절단하기 위한 보조 가스로 사용됩니다.
고객 협업 사례
자동차 안전을 위한 첨단 마이크로 전자 기계 시스템(MEMS) 센서를 생산하는 한 계약 제조업체는 낮은 생산 수율로 인해 어려움을 겪고 있었습니다. 근본 원인 분석을 통해 중요한 어닐링 단계 중 용광로 분위기의 미량 산소와 습기가 섬세한 실리콘 구조에 산화와 응력을 유발한다는 사실이 확인되었습니다. 우리는 맞춤형 고순도 질소 공급 솔루션을 구현하여 1ppm 미만의 산소 수준과 2ppm 미만의 수분을 보장하는 99.9995% 질소를 제공합니다. 우리는 용광로 입구에 실시간 산소 분석기를 갖춘 폐쇄형-공급 시스템을 설계했습니다.- 고순도 질소가 제공하는 일관되고 매우 건조한 불활성 대기는 산화 문제를 제거했습니다. 이러한 개입으로 인해 웨이퍼당 기능 장치 수율이 25% 증가하고 센서의 장기적인-신뢰성이 크게 향상되었습니다. 이 파트너십을 통해 우리의 고순도 질소가 단순한 유틸리티가 아니라 차세대 장치 제조를 가능하게 하는 중요한 공정 매개변수라는 사실이 입증되었습니다.-
FAQ
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